8713 型質(zhì)量流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內(nèi)對氣體進行質(zhì)量流量控制。直接位于氣流中的熱 MEMS 傳感器可以實現(xiàn)速度的響應(yīng)。一個直動式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件，確保了良好的響應(yīng)靈敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具備的控制特性。8713 型設(shè)備可以針對兩種不同的氣體進行校準(zhǔn)，用戶可以在兩者之間進行切換。與上級設(shè)備的通信采用數(shù)字形式，這樣一來，就可以省去額外的數(shù)模轉(zhuǎn)換。8713 型質(zhì)量流量控制器適合多樣化應(yīng)用，例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應(yīng)堆、燃料電池技術(shù)或者試驗臺。